高(gao)溫(wen)化學氣(qi)相沈(chen)積(ji)碳(tan)鍍膜機(ji)

高(gao)溫化學氣(qi)相沈(chen)積(ji)碳(tan)鍍膜機(ji)特(te)點(dian)：

采用多層(ceng)隔板(ban)設計，批量處(chu)理(li)模壓光(guang)學鏡(jing)片(pian)的(de)碳鍍膜工(gong)藝(yi)，每爐(lu)可放(fang)數(shu)千個鏡(jing)片；

智(zhi)能(neng)化PLC程(cheng)序(xu)升(sheng)溫程(cheng)序(xu)，真空程(cheng)序(xu)，CVD進(jin)氣(qi)程(cheng)序(xu)，操作簡(jian)單方(fang)便；

優(you)質幹(gan)式(shi)真空泵，杜(du)絕(jue)油液(ye)汙染(ran)，可選擇國產(chan)幹(gan)式(shi)泵和進(jin)口(kou)幹(gan)式(shi)泵；

智(zhi)能(neng)化CVD進(jin)氣(qi)控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)，適應於氮氣(qi)、乙(yi)炔(que)/甲烷(wan)、氬(ya)氣(qi)、空氣(qi)的(de)通入(ru)和混合；

*的(de)密封系(xi)統(tong)，泄漏(lou)率低，長期(qi)使用穩定性高(gao)；

高(gao)溫化學氣(qi)相沈(chen)積(ji)碳(tan)鍍膜機(ji)詳(xiang)細資(zi)料：

主(zhu)要(yao)用途

適(shi)用於模壓非(fei)球面(mian)光(guang)學玻(bo)璃鏡(jing)片的(de)碳(tan)鍍膜工(gong)藝(yi)；

適(shi)應於半(ban)導(dao)體(ti)行業(ye)晶(jing)圓(yuan)表(biao)面(mian)薄膜(mo)生(sheng)長(chang)；

可用於陶(tao)瓷及單晶(jing)體(ti)表(biao)面(mian)沈(chen)積(ji)碳(tan)納米管工(gong)藝；

產(chan)品(pin)技術(shu)參數(shu)

產(chan)品(pin)型(xing)號(hao)：GS-30-700廣樹(shu)      

最高溫度(du)： 700℃；

使(shi)用氣(qi)氛： 氮氣(qi)、氬(ya)氣(qi)、空氣(qi)、二氧化碳(tan)、乙(yi)炔(que)、甲烷(wan)、合氣(qi)體(ti)；

長(chang)期(qi)使用：400-700℃；

波(bo) 動 度(du)： ±1℃；

顯(xian)示(shi)精(jing)度(du)： 0.1℃；

均(jun) 勻 度(du)： 容積30L；

進(jin)氣(qi)流(liu)量(liang)：三(san)路MFC質(zhi)量(liang)流量(liang)計控制(zhi)，壹(yi)路浮(fu)子流量(liang)計控制(zhi)；

升(sheng)降系(xi)統(tong)： 兩(liang)套伺服升(sheng)降系(xi)統(tong)平臺；

控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)：智能(neng)程(cheng)序(xu)化(hua)PLC控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)；

真空泵真空度(du)： 極(ji)限(xian)真空1Pa；

腔(qiang)內真空度(du)：≤10Pa；

降溫(wen)要求(qiu)：外置冷(leng)卻風機，降溫(wen)階段(duan)強制(zhi)降溫(wen)；

整(zheng)機功率： 18KW；

電(dian) 源 ： 380V, 50Hz；

水(shui)冷(leng)裝置：優(you)質水(shui)冷(leng)機,PLC聯(lian)機(ji)控制(zhi)

保(bao)護裝置： 過載、過流、過壓(ya)保護，接地，熱(re)電偶異(yi)常報警(jing)，第(di)二回(hui)路超(chao)溫報警(jing)保護裝置；冷(leng)卻水(shui)溫(wen)保護，壓

力(li)過載保護；

技術(shu)服(fu)務： 提(ti)供設(she)備使用過程(cheng)中(zhong)的(de)技術(shu)咨(zi)詢和支(zhi)持，接到客(ke)戶(hu)故(gu)障(zhang)通知(zhi)3個工作時(shi)內立即(ji)響應。