模(mo)壓(ya)非球面光學玻璃(li)鏡片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機

模(mo)壓(ya)非球面光學玻璃(li)鏡片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機特點(dian)：

采(cai)用(yong)多層隔(ge)板(ban)設計，批量(liang)處(chu)理模(mo)壓(ya)光學鏡(jing)片(pian)的(de)碳(tan)鍍膜(mo)工藝，每爐(lu)可放數(shu)千(qian)個(ge)鏡片(pian)；

智能(neng)化(hua)PLC程序升溫程序，真空程序，CVD進氣(qi)程序，操作簡單(dan)方便；

優質幹式(shi)真空泵，杜(du)絕(jue)油(you)液汙(wu)染(ran)，可選(xuan)擇(ze)國(guo)產(chan)幹式(shi)泵和進(jin)口幹式(shi)泵；

智能(neng)化(hua)CVD進(jin)氣(qi)控(kong)制系(xi)統，適(shi)應(ying)於(yu)氮氣(qi)、乙炔/甲烷(wan)、氬氣(qi)、空氣(qi)的(de)通(tong)入和(he)混(hun)合；

*的(de)密(mi)封(feng)系(xi)統，泄(xie)漏率(lv)低，長(chang)期使(shi)用(yong)穩(wen)定(ding)性高；

模(mo)壓(ya)非球面光學玻璃(li)鏡片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機詳(xiang)細(xi)資(zi)料：

主要(yao)用(yong)途(tu)

適(shi)用(yong)於(yu)模(mo)壓(ya)非球面光學玻璃(li)鏡片(pian)的(de)碳(tan)鍍膜(mo)工藝；

適(shi)應(ying)於(yu)半導(dao)體行業(ye)晶圓(yuan)表面薄膜(mo)生(sheng)長(chang)；

可用(yong)於(yu)陶(tao)瓷及單(dan)晶體表面沈積碳(tan)納(na)米管(guan)工藝；

產(chan)品(pin)技(ji)術參(can)數(shu)

產(chan)品(pin)型號：GS-30-700廣(guang)樹      

最高溫度： 700℃；

使(shi)用(yong)氣(qi)氛： 氮(dan)氣(qi)、氬氣(qi)、空氣(qi)、二(er)氧化(hua)碳(tan)、乙炔、甲烷(wan)、合氣(qi)體；

長(chang)期使(shi)用(yong)：400-700℃；

波(bo) 動(dong) 度： ±1℃；

顯(xian)示精度： 0.1℃；

均 勻(yun) 度： 容積30L；

進氣(qi)流(liu)量(liang)：三路MFC質量(liang)流(liu)量(liang)計控(kong)制，壹(yi)路浮(fu)子流(liu)量(liang)計控(kong)制；

升降(jiang)系(xi)統： 兩套伺服升降(jiang)系(xi)統平(ping)臺；

控(kong)制系(xi)統：智能(neng)程序化(hua)PLC控(kong)制系(xi)統；

真空泵真空(kong)度： 極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)1Pa；

腔(qiang)內真空度：≤10Pa；

降(jiang)溫(wen)要(yao)求：外置(zhi)冷卻(que)風機，降(jiang)溫(wen)階(jie)段(duan)強(qiang)制降(jiang)溫(wen)；

整機功(gong)率(lv)： 18KW；

電(dian) 源 ： 380V, 50Hz；

水冷(leng)裝置(zhi)：優質水冷(leng)機,PLC聯機控(kong)制

保(bao)護(hu)裝置(zhi)： 過(guo)載(zai)、過(guo)流(liu)、過(guo)壓(ya)保(bao)護(hu)，接(jie)地(di)，熱電(dian)偶異(yi)常(chang)報(bao)警(jing)，第二(er)回路超(chao)溫報(bao)警(jing)保(bao)護(hu)裝置(zhi)；冷卻(que)水溫(wen)

力過(guo)載(zai)保(bao)護(hu)；

技術服務(wu)： 提供(gong)設備使(shi)用(yong)過(guo)程中的(de)技(ji)術(shu)咨(zi)詢(xun)和(he)支持，接(jie)到客戶故障通(tong)知3個(ge)工作時(shi)內(nei)立(li)即(ji)響應(ying)。