廣(guang)樹(shu)GS模壓(ya)玻璃鏡(jing)片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機

廣樹(shu)GS模壓(ya)玻璃鏡(jing)片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機特點(dian)：

采用(yong)多層隔板(ban)設(she)計，批(pi)量(liang)處(chu)理模壓(ya)光(guang)學鏡片的碳(tan)鍍膜(mo)工(gong)藝，每(mei)爐可放(fang)數千(qian)個鏡片；

智(zhi)能(neng)化PLC程序(xu)升溫程(cheng)序(xu)，真空(kong)程序(xu)，CVD進氣(qi)程(cheng)序(xu)，操作(zuo)簡(jian)單方(fang)便(bian)；

優(you)質(zhi)幹式(shi)真空(kong)泵，杜(du)絕油液汙(wu)染(ran)，可(ke)選(xuan)擇國產幹式泵(beng)和(he)進口(kou)幹(gan)式(shi)泵；

智(zhi)能(neng)化CVD進氣(qi)控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)，適(shi)應(ying)於氮(dan)氣(qi)、乙(yi)炔/甲(jia)烷、氬(ya)氣、空(kong)氣(qi)的(de)通入和(he)混(hun)合；

*的密(mi)封(feng)系統，泄漏(lou)率低(di)，長期(qi)使用(yong)穩(wen)定(ding)性高(gao)；

廣樹(shu)GS模壓(ya)玻璃鏡(jing)片(pian)碳(tan)鍍膜(mo)機詳(xiang)細(xi)資(zi)料：

主要(yao)用(yong)途(tu)

適(shi)用(yong)於模壓(ya)非球面(mian)光(guang)學玻璃鏡(jing)片(pian)的碳(tan)鍍膜(mo)工(gong)藝；

適(shi)應(ying)於半(ban)導(dao)體行(xing)業(ye)晶(jing)圓(yuan)表面(mian)薄(bo)膜生(sheng)長(chang)；

可用(yong)於陶(tao)瓷(ci)及單晶(jing)體表面(mian)沈積(ji)碳(tan)納(na)米(mi)管工(gong)藝；

產品(pin)技(ji)術(shu)參數

產品(pin)型號：GS-30-700廣(guang)樹(shu)      

最(zui)高(gao)溫度(du)： 700℃；

使用(yong)氣(qi)氛(fen)： 氮(dan)氣(qi)、氬(ya)氣、空(kong)氣(qi)、二氧化碳(tan)、乙(yi)炔、甲(jia)烷、合氣(qi)體；

長期(qi)使用(yong)：400-700℃；

波 動(dong) 度： ±1℃；

顯(xian)示精度(du)： 0.1℃；

均 勻(yun) 度： 容積30L；

進氣(qi)流(liu)量(liang)：三路MFC質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計控(kong)制(zhi)，壹(yi)路浮(fu)子(zi)流(liu)量(liang)計控(kong)制(zhi)；

升降系(xi)統： 兩套(tao)伺服(fu)升降系(xi)統平(ping)臺；

控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)：智(zhi)能(neng)程(cheng)序(xu)化PLC控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)；

真空(kong)泵真(zhen)空度(du)： 極(ji)限真(zhen)空1Pa；

腔(qiang)內真空(kong)度：≤10Pa；

降溫要(yao)求：外(wai)置(zhi)冷卻(que)風機，降(jiang)溫階(jie)段(duan)強(qiang)制(zhi)降(jiang)溫；

整(zheng)機功率： 18KW；

電(dian) 源(yuan) ： 380V, 50Hz；

水冷(leng)裝(zhuang)置(zhi)：優(you)質(zhi)水冷(leng)機(ji),PLC聯機(ji)控(kong)制(zhi)

保(bao)護(hu)裝(zhuang)置(zhi)： 過載(zai)、過(guo)流(liu)、過(guo)壓(ya)保(bao)護(hu)，接(jie)地，熱(re)電(dian)偶(ou)異常報警，第(di)二回(hui)路超(chao)溫報(bao)警保(bao)護(hu)裝(zhuang)置(zhi)；冷

力過(guo)載(zai)保(bao)護(hu)；

技(ji)術(shu)服(fu)務： 提(ti)供設(she)備使用(yong)過(guo)程(cheng)中的(de)技(ji)術(shu)咨詢和支(zhi)持，接到客戶故(gu)障通知(zhi)3個工(gong)作時內(nei)立即(ji)響應(ying)